质量标准:
分子式:C2F6 分子量:138
组分
|
含量 |
单位 |
C2F6 |
≥99.999 |
%V |
N2 |
≤4 |
ppmv |
O2 |
≤1 |
ppmv |
CO |
≤1 |
ppmv |
CO2 |
≤1 |
ppmv |
THC (CH4) |
≤1 |
ppmv |
H2O |
≤1 |
ppmv |
Other Halocarbon |
≤3 |
ppmv |
Acidity (HF) |
≤0.1 |
ppmw |
性状:
无色、无味、非易燃的稳定气体,在24.3℃以上不能保持液态,微溶于水。
用途:
可用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂等。
贮存:
存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
运输:
产品运输应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。
包装:
应充装在经特殊处理的洁净、干燥的无缝高压气瓶中,气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等,也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。
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