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电子级无水氟化氢

序号	项目		单位	规格值
1	氢氟酸Assay	HF	wt％	≥99.999
2	氯化物Chloride	Cl	ppb	≤100
3	硝酸盐Nitrate	NO3	ppb	≤100
4	磷酸盐Phosphate	PO4	ppb	≤100
5	硫酸盐Sulfate	SO4	ppb	≤100
6	硅Silicon	Si	ppb	≤100
7	铁Iron	Fe	ppb	≤50
8	镍Nickel	Ni	ppb	≤50
9	铬Chromium	Cr	ppb	≤50
10	铜Copper	Cu	ppb	≤50
11	钠Sodium	Na	ppb	≤50
12	钙Calcium	Ca	ppb	≤50

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