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製品の紹介
電子級六フッ化硫黄
項目 |
国家基準GB/T18867-2014 |
六氟化硫(SF6)含量(体积分数)/10-2 |
99.999 |
(氧+氩)(酸素+アルゴン)(体積点数)/10-6 ≤ |
2.0 |
氮 窒素(体積点数)/10-6 ≤ |
2.0 |
四氟化碳 四フッ化炭素体積点数)/10-6 ≤ |
1.0 |
一氧化碳 一酸化炭素体積点数)/10-6 ≤ |
0.5 |
二氧化碳 二酸化炭素体積点数)/10-6 ≤ |
0.5 |
甲烷 メタン体積点数)/10-6 ≤ |
0.5 |
水分(H2O)的 |
3.0 |
酸度(以HF计)的 |
0.1 |
可水解氟化物(以HF计)的质量分数/10-6 |
0.8 |
杂质综合的 不純物のある総合的なもの体積点数)/10-6 ≤ |
10 |
需給双方が協議して定める |