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제품소개
품질표준:
분자식:C2F6 분자량:138
성분
|
함량 |
단위 |
C2F6 |
≥99.999 |
%V |
N2 |
≤4 |
ppmv |
O2 |
≤1 |
ppmv |
CO |
≤1 |
ppmv |
CO2 |
≤1 |
ppmv |
THC (CH4) |
≤1 |
ppmv |
H2O |
≤1 |
ppmv |
기타 할로탄소 |
≤3 |
ppmv |
산성(HF) |
≤0.1 |
ppmw |
성질:
무색,냄새없이 ,안정한 기체, 24.3℃이상이면 액태를 유지하지 못하고 약간 물에 용해합니다.
용도:
절연기체, 플라즈마 에칭제, 높은 유전 강도 냉각제등으로 사용됩니다.
저장:
시원하고 통풍이 잘되는 창고에 저장합니다.불,열원을 피합니다.산화제랑 따라 보관하고 혼합 저장하지 말아야 합니다.창조의 노출 응급 설비가 있어야 합니다.
운송:
탄소 테트라플루오라이드의 운송은 “기체 안전 검차 규정”의 관련 규정에 따라 운송해야 합니다.
포장:
이미 특수 처리된 청결하고 건조된 밀봉 고압 기체병에 작성하고 기체의 음량이40L、12.5L、10L、8L、4L등,또한 사용자의 요구예 다라 기타 음량의 기체병 혹은 용기도 사용할 수 있습니다