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제품소개
품질표준:
분자식:CF4 분자량:88
성분
|
규범 |
단위 |
|
CF4 |
≥ |
99.98 |
%V |
공기 |
≤ |
100 |
ppmv |
H2O |
≤ |
10 |
ppmv |
CO2 |
≤ |
30 |
ppmv |
SF6 |
≤ |
10 |
ppmv |
기타 할로카본 |
≤ |
30 |
ppmv |
산도(HF로 계산) |
≤ |
0.3 |
ppmw |
성질:
탄소 테트라플루오라이드는 영구한 기체이고 상온과 상압에 무색 무취 기체입니다.공기에 연소되지 않고 아주 안정성을 가지는 무독 물질입니다.
용도:
탄소 테트라플루오라이드는 현재 미 전자 공업 중에 용량이 최큰의 플라즈마 에칭 가스이고 광범위하게 전자 부품의 표면의 청결,인쇄 전로 생산에 청결제 등에 대량적으로 사용하고 있습니다.
저장:
시원하고 통풍이 잘되는 장소,열원을 널리 피하고 창고의 온도가30℃이상 되지 않고 빈병,만병이량 따로 저장합니다.
운송:
탄소 테트라플루오라이드의 운송은 “기체 안전 검차 규정”의 관련 규정에 따라 운송해야 합니다.
포장:
이미 특수 처리된 청결하고 건조된 밀봉 고압 기체병에 작성하고 기체의 음량이40L、12.5L、10L、8L、4L등,또한 사용자의 요구예 다라 기타 음량의 기체병 혹은 용기도 사용할 수 있습니다