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제품소개
전자급설푸르 헥사플루오라이드
프로젝트 |
국제표준 |
설푸르 헥사플루오라이드(SF6)함량(체적분수)/10-2 ≥ |
99.999 |
(산소+아르곤)(O2+Ar)(체적분수)/10-6 ≤ |
2.0 |
질소(N2)(체적분수)/10-6 ≤ |
2.0 |
카르본 테트라플루오라이드(CF4) (체적분수)/10-6 ≤ |
1.0 |
카르본일산화물(CO)(체적분수)/10-6 ≤ |
0.5 |
카르본이산화물(CO2)(체적분수)/10-6 ≤ |
0.5 |
메탄(CH4) (체적분수)/10-6 ≤ |
0.5 |
수분(H2O) (체적분수)/10-6 ≤ |
3.0 |
산도(HF로 계산)품질분수/10-6 ≤ |
0.1 |
물로 불화물 분해(HF로 계산)의 품질분수/10-6 ≤ |
0.8 |
잡질종합의(체적분수)/10-6 ≤ |
10 |
과입 |
공급 상대방 결정하기 |