氟化銨溶液

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氟化銨溶液

項目		單位	規格值
氟化銨	NH₄F	wt %	39.6-40.2
氫氟酸	HF	wt %	0.2-0.3
氯化物	Cl	ppm	≤0.5
硝酸鹽	NO₃	ppm	≤0.1
磷酸鹽	PO₄	ppm	≤0.03
硫酸鹽	SO₄	ppm	≤0.1
色度	APHA	黑曾	≤10
顆粒 (＞0.2μm)	個/mL	Pcs /mL	≤200
銀	Ag	ppb	≤0.1
鋁	Al	ppb	≤0.1
砷	As	ppb	≤0.1
金	Au	ppb	≤0.1
硼	B	ppb	≤0.1
鋇	Ba	ppb	≤0.1
鈹	Be	ppb	≤0.1
鉍	Bi	ppb	≤0.1
鈣	Ca	ppb	≤0.1
鎘	Cd	ppb	≤0.1
鈷	Co	ppb	≤0.1
鉻	Cr	ppb	≤0.1
銅	Cu	ppb	≤0.1
鐵	Fe	ppb	≤0.1
鎵	Ga	ppb	≤0.1
鍺	Ge	ppb	≤0.1
鉀	K	ppb	≤0.1
鋰	Li	ppb	≤0.1
鎂	Mg	ppb	≤0.1
錳	Mn	ppb	≤0.1
鉬	Mo	ppb	≤0.1
鈉	Na	ppb	≤0.1
鈮	Nb	ppb	≤0.1
鎳	Ni	ppb	≤0.1
鉛	Pb	ppb	≤0.1
銻	Sb	ppb	≤0.1
錫	Sn	ppb	≤0.1
鍶	Sr	ppb	≤0.1
鉭	Ta	ppb	≤0.1
鈦	Ti	ppb	≤0.1
鉈	Tl	ppb	≤0.1
釩	V	ppb	≤0.1
鋅	Zn	ppb	≤0.1
鋯	Zr	ppb	≤0.1