质量标准:
分子式:WF6 分子量:297.8
项目
|
指标 |
WF6 |
≥99.999% |
N2 |
<1ppmv |
O2+Ar |
<0.5 ppmv |
CO |
<0.5 ppmv |
CO2 |
<0.5 ppmv |
CF4 |
<0.5 ppmv |
NF3 |
<0.5 ppmv |
SF6 |
<0.5 ppmv |
SiF4 |
<0.5 ppmv |
HF |
<5 ppmv |
Al |
<0.2 ppm w |
Ca |
<0.01 ppm w |
Co |
<0.01 ppmw |
Cr |
<0.02 ppmw |
Cu |
<0.01 ppmw |
Fe |
<0.02 ppmw |
K |
<0.15 ppmw |
Mg |
<0.01 ppmw |
Mn |
<0.1 ppmw |
Mo |
<0.5 ppmw |
Na |
<0.015 ppmw |
Ni |
<0.1 ppmw |
Pb |
<0.02 ppmw |
Th |
<0.1 ppmw |
U |
<0.05 ppmw |
Zn |
<0.05 ppmw |
性状:
无色气体或浅黄色液体或固体,固体为易潮解的白色结晶, 接触潮湿空气冒烟。熔点2.3℃沸点:17.5℃。
用途:
用于钨的化学蒸镀,用作氟化剂。
贮存:
储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。保持容器密封。应与活性金属粉末等分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
运输:
铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放,并应将瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超过车辆的防护栏板,并用三角木垫卡牢,防止滚动。严禁与活性金属粉末、食用化学品等混装混运。夏季应早晚运输,防止日光曝晒。公路运输时要按规定路线行驶,禁止在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。
包装:
钢制气瓶。