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工业级四氟化碳
质量标准:
分子式：CF4 分子量：88
|
成分 |
规范 |
单位 |
|
|
CF4 |
≥ |
99.98 |
%V |
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空气 |
≤ |
100 |
ppmv |
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H2O |
≤ |
10 |
ppmv |
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CO2 |
≤ |
30 |
ppmv |
|
SF6 |
≤ |
10 |
ppmv |
|
其它卤碳化合物 |
≤ |
30 |
ppmv |
|
酸度(以HF计) |
≤ |
0.3 |
ppmw |
性状：
四氟化碳为永久气体，在常温常压下为无色无臭的气体。空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。
用途：
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，可广泛应用于电子器件表面清洗，印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
贮存：
阴凉通风、远离热源、仓温不宜超过30℃，空瓶、满瓶应分开存放。
运输：
四氟化碳的运输应符合《气瓶安全监察规程》的相关规定。
包装:
应充装在经特殊处理的洁净、干燥的无缝高压气瓶中，气瓶容积一般为40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根据用户需要选用各种容积的气瓶或其它容器。
福建省邵武市永飞化工有限公司
地 址：中国福建省邵武市新氨路18 号
国际贸易部 电话：+86-599-6655932/6654968 传真：+86-599-6654591
国内贸易部 电话：+86-599-6654866/6654968 传真：+86-599-6655755
高纯化学品部 电话：+86-599-6655536/6654968 传真：+86-599-6655755
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