电子级氢氟酸

分子式：HF
分子量：20.01

检测项目	EL级	UP级	UP-S级	UP-SS级
含量，%	49+0.5	49+0.5	49+0.5	49+0.5
色度Color，黑曾	10	10	7	7
硅氟酸(H2SiF6)w/(mg/kg)	50	50	30	30
氯化物(Cl)w/(mg/kg)	5	5	0.2	0.05
硝酸盐(NO3)w/(mg/kg)	3	3	0.1	0.05
磷酸盐(PO4)w/(mg/kg)	1	1	0.1	0.05
硫酸盐(SO4)w/(mg/kg)	5	5	0.2	0.05
铝（Al）w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
砷（As）w/(μg/kg)	200	10	1	0.1
硼（B）w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
钡（Ba）w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
铍（Be）w/(μg/kg)	20	5	1	0.1
铋（Bi）w/(μg/kg)	20	5	1	0.1
镉（Cd）w/(μg/kg)	50	10	1	0.1
钙（Ca）w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
铬(Cr)w/(μg/kg)	20	10	1	0.1
钴(Co)w/(μg/kg)	20	10	1	0.1
铜(Cu)w/(μg/kg)	20	10	1	0.1
镓(Ga)w/(μg/kg)	20	10	1	0.1
锗（Ge）w/(μg/kg)	20	10	1	0.1
金（Au）w/(μg/kg)	20	5	1	0.1
铁(Fe)w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
铅(Pb)w/(μg/kg)	50	10	1	0.1
钛（Ti）w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
锑（Sb）w/(μg/kg)	50	10	1	0.1
锂(Li)w/(μg/kg)	20	5	1	0.1
镁(Mg)w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
锰(Mn)w/(μg/kg)	50	10	1	0.1
钼（Mo）w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
镍(Ni)w/(μg/kg)	50	10	1	0.1
钾(K)w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
银(Ag)w/(μg/kg)	20	5	1	0.1
钠(Na)w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
铂（Pt）w/(μg/kg)	100	10	1	0.1
锶（Sr）w/(μg/kg)	——	10	1	0.1
铊（Tl）w/(μg/kg)	——	10	1	0.1
锡（Sn）w/(μg/kg)	20	10	1	0.1
矾（V）w/(μg/kg)	——	10	1	0.1
锌(Zn)w/(μg/kg)	50	10	10	10
颗粒（≥1.0μm）个/ml	25	——	——	——
颗粒（≥0.5μm）个/ml	——	25	5	——
颗粒（≥0.2μm）个/ml	——	——	——	20

性状：
无色透明溶液，有强烈刺激性气味，剧毒。并有强烈的腐蚀性。
用途：
电子化学品用于超大规模集成电路芯片，太阳能电池，LED和TET-LCD面板制造过程的蚀刻和清洗，原子能工业化学试剂。
贮存：
应贮存于通风良好的库房中。
运输：
运输中作为一级无机酸性腐蚀物品。运输中严禁受潮、受热和雨淋。装动时应轻装、轻卸、防止撞击。
包装：
用聚乙烯塑料桶装，20L、200L、1000L，或依用户要求充装。

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