序号

项目

单位

规格值

1

氢氟酸Assay

HF

wt％

≥99.999

2

氯化物Chloride

Cl

ppb

≤100

3

硝酸盐Nitrate

NO₃

ppb

≤100

4

磷酸盐Phosphate

PO₄

ppb

≤100

5

硫酸盐Sulfate

SO₄

ppb

≤100

6

硅Silicon

Si

ppb

≤100

7

铁Iron

Fe

ppb

≤50

8

镍Nickel

Ni

ppb

≤50

9

铬Chromium

Cr

ppb

≤50

10

铜Copper

Cu

ppb

≤50

11

钠Sodium

Na

ppb

≤50

12

钙Calcium

Ca

ppb

≤50