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| 電子級氫氟酸企業標准
| EL值 |
單位ppb |
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| 項目 |
規格 |
EL級:
1、金屬雜含量小于100ppb
2、控制1微米粒徑粒子
3、達到SEMIC1C2標准
4、適合中小規模集成電路及電子元件加工 |
| 含量% |
≥40 |
| 氯化物 |
5000 |
| 硅氟酸 |
50000 |
| 磷酸鹽 |
500 |
| 砷 |
50 |
| 稯 |
20 |
| 鈣 |
100 |
| 鈷 |
20 |
| 鎵 |
20 |
| 金 |
50 |
| 鉛 |
20 |
| 鎂 |
200 |
| 鉀 |
100 |
| 鈦 |
100 |
| 鈉 |
200 |
| 鉈 |
500 |
| 銻 |
20 |
| 色度 |
10 |
| 硫酸鹽 |
1000 |
| 亞硫酸鹽 |
2000 |
| 鋁 |
100 |
| 鋇 |
100 |
| 硼 |
20 |
| 鉻 |
20 |
| 銅 |
20 |
| 鈉 |
200 |
| 鐵 |
100 |
| 鋰 |
20 |
| 錳 |
20 |
| 鉑 |
100 |
| 銀 |
20 |
| 鋅 |
50 |
| 錫 |
20 |
| 顆粒0.5微米以上 |
27 |
備注：可滿足用戶提出的更高要求來組織生產.
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