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| 电子级氢氟酸企业标准
| EL值 |
单位ppb |
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| 项目 |
规格 |
EL级:
1、金属杂含量小于100ppb
2、控制1微米粒径粒子
3、达到SEMIC1C2标准
4、适合中小规模集成电路及电子元件加工 |
| 含量% |
≥40 |
| 氯化物 |
5000 |
| 硅氟酸 |
50000 |
| 磷酸盐 |
500 |
| 砷 |
50 |
| 鉍 |
20 |
| 钙 |
100 |
| 钴 |
20 |
| 镓 |
20 |
| 金 |
50 |
| 铅 |
20 |
| 镁 |
200 |
| 钾 |
100 |
| 钛 |
100 |
| 钠 |
200 |
| 铊 |
500 |
| 锑 |
20 |
| 色度 |
10 |
| 硫酸盐 |
1000 |
| 亚硫酸盐 |
2000 |
| 铝 |
100 |
| 钡 |
100 |
| 硼 |
20 |
| 铬 |
20 |
| 铜 |
20 |
| 钠 |
200 |
| 铁 |
100 |
| 锂 |
20 |
| 锰 |
20 |
| 铂 |
100 |
| 银 |
20 |
| 锌 |
50 |
| 锡 |
20 |
| 颗粒0.5微米以上 |
27 |
备注：可满足用户提出的更高要求来组织生产.
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